Micro-Electro-Mechanical Systems

z Wikipédie, slobodnej encyklopédie
Prejsť na: navigácia, hľadanie

Micro-Electro-Mechanical Systems, skratka MEMS (slovensky mikromechanické systémy, mikromechanika), označuje mechanické a elektromechanické konštrukcie veľmi malých rozmerov (pod 1 mm), ako aj technológie používané na ich prípravu. Pre ilustráciu rozmerov typických MEMS sa často používa priemer ľudského vlasu (asi 50 μm).

Materiály a technológie[upraviť | upraviť zdroj]

Na prípravu MEMS sa využívajú technológie prevzaté z mikroelektroniky (t. j. výroby čipov):

  • fotolitografia
  • selektívne leptanie
  • iónové odprašovanie
  • selektívne nanášanie kovových a nekovových vrstiev

Podobne, aj materiály používané v MEMS sú často prevzaté z mikroelektroniky, napr. kremík, SiO2, rôzne kovy a polyméry.

Súčasné využitie[upraviť | upraviť zdroj]

  • senzory
    • senzory zrýchlenia použité na detekciu nárazu v automobile (iniciuje spustenie airbagu)
    • vibračný gyroskop pre snímanie pohybu
  • zobrazovacie prvky
    • polia mikrozrkadiel

Potenciálne využitie[upraviť | upraviť zdroj]

  • mikroroboty pre operácie vnútri ľudského tela (bez toho aby človek musel liezť pod skalpel - stačí keď prehltne "pilulku" a dané robotické systémy urobia všetko potrebné)
  • miniatúrne motory, ktoré môžu byť použité v zabezpečovacích systémoch
  • v špionážnej technike (ak sa už nevyužíva:) hlavne pre jeho malé rozmery
  • demonštrácia možností:
    • malé roboty menšie ako zrnko ryže
    • "kolotoč" pre blchy